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潔淨室是指將一定空間範圍內的空氣中的微粒子、有害氣體、細菌等汙染物排除,並將室內溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內,而給予特別設計的房間。潔淨室最主要之作用在于控制産品(如矽芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度,使産品能在一個良好之環境空間中生産、制造,此空間我們稱之爲「潔淨室」。
1、送風至少經過三級過濾(粗效、中效和高效),並且高效過濾器應設置在系統的末端。
2、潔淨室應有足夠的除塵和空調的送風量。
3、潔淨室應維持必要的壓力梯度(正壓梯度或負壓梯度)。
4、潔淨室應有合理的氣流組織。
淨化等級一般分爲100級、1000級、10000級、100000級,現在2010年版的GMP淨化車間已經不用這個叫法了,分爲ABCD級別,分別相對應于98版的幾個級別,通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮遊菌數、沈降均數評價淨化級別,各個級別有不同的要求,淨化等級分靜態、動態兩種。
世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標准209爲多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標准作介紹與相互比較。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,潔淨室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
洁净网:Wg1pj 美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
基于伯努利原理、空氣動力學原理,使排風櫃內腔空氣形成一個整體的穩流結構不但加速有害氣體的排出,同時減少了排風櫃的總排風量。
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